1、深冷空分制氮，即把压缩空气液化，通入分馏塔，然后利用氧气、氮气的沸点不同，分离出氮气（纯度基本固定在99.9995%）和富氧（35％的氧气＋氮气）。深冷分离是最成熟的工艺，一般适合于大型空分，且由于启动时间在2个小时以上，启动成本高，所以对用气连续性要求很高。适合大型用氮，纯度要求高，用气连续波动少的用户。

2、膜分离制氮，即通过膜对氮气、氧气通过的选择性不同制氮的。氮气纯度一般95％左右，膜分离制氮技术还不是很成熟，市场应用不多。

3、变压吸附制氮（PSA），即利用分子筛不同压力下对氮气、氧气的吸附率不同而制氮的。这也是最适合小型制氮的技术。经济制氮的纯度范围可以在99～99.9％。