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常用高纯气体的主要用途

? ? ? 高纯气体是气体工业名词,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同,高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体,和无机高纯气体.?

序号

气体名称

纯度/%

主 要 用 途

1

纯氩Ar

≥99.99

冶炼、切割、焊接、电子工业

2

高纯氩Ar

≥99.999

电子管、特种灯泡、真空技术、ICP发射光谱仪

3

纯氮N2

≥99.99

化工、冶金、电子工业

4

高纯氮N2

≥99.999

科研、电子、机械行业、色谱仪、载气

5

纯氢H2

≥99.99

金属冶炼、焊接、国防工业

6

高纯氢H2

≥99.999

电子工业、石油化工、色谱仪、载气

7

纯氦He

≥99.99

电子工业、潜水呼吸

8

高纯氦He

≥99.999

色谱仪载气、电子工业

9

工业氧O2

≥99

钢材焊接、火焰加工

10

高纯氧O2

≥99.95

标准气体的制备、集成电路、科学研究

11

工业氢H2

≥99

石油、油脂加氢、人造宝石、石英玻璃制造、金属切割

12

纯氙Xe

≥99.99

电光源工业、医疗、电真空、激光行业

13

高纯氙Xe

≥99.999

14

纯氪Kr

≥99.99

电光源工业、电真空工业

15

高纯氪Kr

≥99.999

16

纯氖Ne

≥99.99

电光源工业

17

液体二氧化碳CO2

≥99.9

化工、焊接、制冷、化纤、农业、食品添加剂

18

高纯二氧化碳CO2

≥99.999

标准气体的制备

19

二氧化硫SO2

≥99.9

医药、科研、制革、排放源检测

20

硫化氢H2S

≥99.9

标准气制备、等离子干刻

21

一氧化碳CO

≥99.9

标准气制备、渗碳、标准气及混合气装备

22

甲烷CH4

≥99.9

低温液体洗涤剂标准气及混合气制备

23

乙炔C2H2

≥99

金属焊接、切割、加热燃料、有机产品原料

24

丙烷C3H6

≥99.9

石油化工、医学检验、标准气体的制备

25

乙烯C2H4

≥99.9

乙烯、丙烯成分分析标准气体的制备

26

丙烯C3H6

≥99.9

27

乙硼烷B2H6

≥99.995

半导体器件制造中的重要P型掺杂源

28

磷烷PH3

≥99.999

半导体器件制造中的重要N型掺杂源

29

砷烷AsH3

≥99.999

N型掺杂源

30

硅烷SiH4

≥99.999

用于制备高纯多晶硅





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