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常用高纯气体的主要用途
? ? ? 高纯气体是气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体.?
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序号
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气体名称
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纯度/%
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主 要 用 途
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1
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纯氩Ar
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≥99.99
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冶炼、切割、焊接、电子工业
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2
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高纯氩Ar
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≥99.999
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电子管、特种灯泡、真空技术、ICP发射光谱仪
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3
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纯氮N2
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≥99.99
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化工、冶金、电子工业
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4
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高纯氮N2
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≥99.999
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科研、电子、机械行业、色谱仪、载气
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5
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纯氢H2
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≥99.99
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金属冶炼、焊接、国防工业
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6
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高纯氢H2
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≥99.999
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电子工业、石油化工、色谱仪、载气
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7
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纯氦He
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≥99.99
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电子工业、潜水呼吸
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8
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高纯氦He
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≥99.999
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色谱仪载气、电子工业
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9
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工业氧O2
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≥99
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钢材焊接、火焰加工
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10
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高纯氧O2
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≥99.95
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标准气体的制备、集成电路、科学研究
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11
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工业氢H2
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≥99
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石油、油脂加氢、人造宝石、石英玻璃制造、金属切割
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12
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纯氙Xe
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≥99.99
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电光源工业、医疗、电真空、激光行业
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13
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高纯氙Xe
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≥99.999
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14
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纯氪Kr
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≥99.99
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电光源工业、电真空工业
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15
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高纯氪Kr
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≥99.999
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16
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纯氖Ne
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≥99.99
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电光源工业
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17
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液体二氧化碳CO2
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≥99.9
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化工、焊接、制冷、化纤、农业、食品添加剂
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18
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高纯二氧化碳CO2
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≥99.999
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标准气体的制备
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19
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二氧化硫SO2
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≥99.9
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医药、科研、制革、排放源检测
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20
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硫化氢H2S
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≥99.9
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标准气制备、等离子干刻
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21
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一氧化碳CO
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≥99.9
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标准气制备、渗碳、标准气及混合气装备
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22
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甲烷CH4
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≥99.9
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低温液体洗涤剂标准气及混合气制备
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23
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乙炔C2H2
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≥99
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金属焊接、切割、加热燃料、有机产品原料
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24
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丙烷C3H6
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≥99.9
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石油化工、医学检验、标准气体的制备
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25
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乙烯C2H4
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≥99.9
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乙烯、丙烯成分分析标准气体的制备
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26
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丙烯C3H6
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≥99.9
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27
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乙硼烷B2H6
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≥99.995
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半导体器件制造中的重要P型掺杂源
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28
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磷烷PH3
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≥99.999
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半导体器件制造中的重要N型掺杂源
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29
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砷烷AsH3
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≥99.999
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N型掺杂源
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30
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硅烷SiH4
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≥99.999
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用于制备高纯多晶硅
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气体百科
